国内薄膜沉积设备龙头有北方华创和沈阳拓荆其中，北方华创产品线覆盖CVDPVD和ALD，沈阳拓荆主要覆盖CVD分产品来看，2020年电子工艺装备实现营收同比增长5258%至4869亿元，占比8040%，毛利率减少579pp至2944；敷设管形式可采用回字形或S字形，通过沈阳市宏伟新都及其大量工程实践证明，回形比S形敷...